隨著先進(jìn)制程推進(jìn)、封裝結(jié)構(gòu)復(fù)雜化以及大尺寸基板應(yīng)用發(fā)展，半導(dǎo)體檢測(cè)正從單一缺陷識(shí)別向高精度、高效率、多場(chǎng)景協(xié)同演進(jìn)。單一相機(jī)性能已難以滿足不同檢測(cè)環(huán)節(jié)的差異化需求。

 

Gemini 8KTDI 平臺(tái)

 

1MHz@8K高性能TDI相機(jī)，滿足前道檢測(cè)極限性能需求?

 

Gemini 8KTDI 高性能TDI相機(jī)系列，通過(guò) 1MHz 高速采集能力、以及精密熱管理，實(shí)現(xiàn)高速條件下的穩(wěn)定高信噪比輸出，為前道先進(jìn)制程提供高速、高信噪比成像能力支撐。

Gemini 8KTDI 技術(shù)規(guī)格書(shū)?

典型應(yīng)用場(chǎng)景

晶圓暗場(chǎng)無(wú)圖檢測(cè)

晶圓明場(chǎng)有圖/無(wú)圖檢測(cè)

掩膜/掩膜基板檢測(cè)?

Gemini 8KTDI LT 平臺(tái)

 

500KHz@8K緊湊型TDI相機(jī)，面向后道規(guī)模部署優(yōu)化?

 

Gemini 8KTDI LT 緊湊型TDI相機(jī)系列，采用自然散熱/風(fēng)冷結(jié)構(gòu)替代風(fēng)水冷一體化系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)體積縮小 64%、重量減輕 75%、功耗降低 50%，為后道檢測(cè)設(shè)備規(guī)模化量產(chǎn)部署提供更高效、更簡(jiǎn)潔、更低成本的成像解決方案。

Gemini 8KTDI LT 技術(shù)規(guī)格書(shū)?

典型應(yīng)用場(chǎng)景

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AOI 晶圓檢測(cè)：硅基/三代半晶圓檢測(cè)

先進(jìn)封裝：TGV/TSV/RDL 檢測(cè)泛

半導(dǎo)體類檢測(cè)：PCB/FPD 檢測(cè)?

Gemini 16KTDI 平臺(tái)

 

500KHz@16K超寬幅TDI相機(jī)，提升大幅面檢測(cè)效率

 

Gemini 16KTDI 超寬幅 TDI 相機(jī)系列，憑借更大幅面單次掃描能力，可減少多相機(jī)拼接需求，從而降低設(shè)備光機(jī)結(jié)構(gòu)與算法復(fù)雜度，提升檢測(cè)吞吐效率、一致性及系統(tǒng)可靠性。

Gemini 16KTDI 技術(shù)規(guī)格書(shū)?

典型應(yīng)用場(chǎng)景

 

AOI 晶圓檢測(cè)：硅基有圖晶圓檢測(cè)

先進(jìn)封裝：大尺寸基板檢測(cè)

泛半導(dǎo)體類檢測(cè)：PCB/FPD 檢測(cè)?

以體系之力，賦能中國(guó)“芯”檢測(cè)

 

用一套已被驗(yàn)證的成熟技術(shù)體系，筑牢中國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)的核心能力底座

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Gemini TDI 標(biāo)準(zhǔn)化平臺(tái)，是鑫圖多年 TDI 技術(shù)積累的系統(tǒng)性釋放，也是與產(chǎn)業(yè)伙伴持續(xù)協(xié)同創(chuàng)新的共同成果。未來(lái)，鑫圖將持續(xù)以系統(tǒng)級(jí)成像解決方案能力，服務(wù)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，攜手產(chǎn)業(yè)伙伴，共筑中國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)新高地。?

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CSEAC 2026 邀請(qǐng)函

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鑫圖 Gemini TDI 標(biāo)準(zhǔn)化平臺(tái)即將亮相無(wú)錫·第十四屆半導(dǎo)體設(shè)備材料及核心部件展（2026年8月31-9月2日），歡迎蒞臨鑫圖展臺(tái) C1-118?交流體驗(yàn)，共探 TDI 成像技術(shù)的多元應(yīng)用可能。?